中国科大6G滤波器研发取得突飞猛进

近来，中国人科学技术的大学（以下简称“复旦”）网站对外刊出，复旦在6G滤波器课题取得最重要成效。该研究成果由微电子所的大学左成杰的大学教授研究的团队在铋酸锂（LiNbO3）压电聚丙烯上设计并实现了Q最大值高达100000的高频（6.5 GHz）微机电系统（MEMS）振荡器，与文献中基本的指导工作相比，把Q最大值提高了2个倍数。

其中，左成杰的大学教授为论文通讯著者，微电子所的大学博士生戴忠斌为论文第一著者。此项研究指导工作赢取了发达国家重点研发计划和中央的的大学基本科研私人机构的捐款，也赢取了复旦微电子所的大学、复旦微纳研究与制造中心、复旦高性能技术研究院和中国人科所的大学无线光电因特网重点实验室的支持。

据闻，相关成果以“Ultra HighQLithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle”为题于5月初16日网络刊出在电子器件课题熟知期刊IEEE Electron Device Letters上。

研究人员提出了一种基于缩放并不一定α在x-cut单晶铋酸锂压电聚丙烯上设计并制备高频MEMS振荡器的原理。通过设计振荡器的电极结构上，指导工作于6.5 GHz的S1振动模态被激发，并且当声波传播方向（α）位于15°时，振荡器线圈振荡阈值（fp）处的品质因数（Qp）高达131540，对应的振荡器优最大值k2·Qp和fp·Qp分别达到6300和8.6×1014Hz（平面图1）。

平面图1.另行型MEMS振荡器结构上复杂及性能的测试：(a)缩放并不一定的定义；(b)制备的振荡器SEM照片；(c)15°振荡器导纳曲线的测试结果

如平面图2简述，与近10年其它的指导工作在近似于UMTS的振荡器比较，该另行型MEMS振荡器把Q最大值提高了2个倍数，并且首次突破了振荡阈值与Q最大值等价（f·Q）这一较难同步提高的振荡器优最大值极限。更加最重要的是，相关指导工作取得成功发现了利用缩放并不一定可以对铋酸锂聚丙烯介电缺点和声学缺点进行调控的另行机理，为将来微纳器件在高频无线因特网、医学超声波成像、笔记本电脑系统设计和物联网传感器等应用课题挡住了更加多的有可能。

平面图2.另行型MEMS振荡器与近10年其它铋酸锂振荡器Q最大值的比较

（校对/七七）

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